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| 加工定制：否 | 品牌：NIDEK COLTD | 型号：NIDEK FT-17 |
| 测量范围：1，2，3，4，5μm/fringe的干涉条纹 | 测量对象：晶片（硅、化合物、酸化物、玻璃）金属片、磁碟（铝、玻璃）模具等 镜面及非镜面（除反射率低 | 测量精度：0.0001 |
| 尺寸：300*500*600mm | 重量：50kg | 适用范围：晶片（硅、化合物、酸化物、玻璃）金属片、磁碟（铝、玻璃）模具等 镜面及非镜面（除反射率低的非镜面） |
平台测试仪
NIDEK CO.,LTD.制造的平坦度测试仪在国际上享有盛誉，被半导体晶片加工厂家广泛使用。
NIDEK FT-17平坦度测试仪功能简介
一，FT-17是∮130mm以下各类晶片平坦度测试装置，该装置采用激光斜射干涉技术
二，可设定1，2，3，4，5μm/fringe的干涉条纹。
三，接入标准的解析装置，以表示各类晶片的平面度。测定结果，可用各种测定值，等高线图，俯视图，断面图等图表示。
四，无须校准
五，以专用解析装置控制程序使操作变得容易1，测定方法：光波干涉方法（倾斜入射）
2，光源：半导体激光（655nm，3mw）
3，样片尺寸：∮130mm以下，但是平坦度在∮100mm以下
4，样片厚度：2000um以下（平坦度测定250um-1000um以下）但是承受台10mm、其他厚度请以其他方式商谈
5，样片的种类：晶片（硅、化合物、酸化物、玻璃）金属片、磁碟（铝、玻璃）模具等 镜面及非镜面（除反射率低的非镜面）
6，样片的倾斜角度：比垂直向前倾斜8度
7，干涉计设定感度：1，2，3，4，5μm/线距
8，测定范围：线距感光的30倍（线距状况、有比镜片尺寸等30倍以下的场合）
9，摄像光学比：3倍以上
10， 电源：AC100V
